병렬 플라즈마 소스를 이용한 마이크로 LED 소자 제작용 GaN 식각 공정 시스템 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.3 2021 pp.32-38
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.1 2013 pp.89-94
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피라미드 형상 및 반사방지막 조건에 따른 태양전지 효율 개선
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.480
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.2 2013 pp.130-135
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LCD 공정용 C<SUB>3F<SUB>6 가스를 이용한 Si<SUB>3N<SUB>4 박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.21 No.4 2012 pp.199-204
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RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.584
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RIE에서 $C_3F_6$ 가스를 이용한 $Si_3N_4$ 식각공정 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 pp.328-329
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RIE 공정 조건에 의한 피라미드 구조의 블랙 실리콘 형성
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.20 No.3 2011 pp.207-212
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후면 passivation 박막으로 Rapid Thermal Oxide를 적용한 Local Back Contact Cell 제작에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.406
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DRE 공정이 태양전지용 재생웨이퍼 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.3 2011 pp.217-224
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buffer layer 삽입을 통한 TCO/p interface 특성에 관한 simulation 및 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.340
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Silicon 기판과 SiON 박막 사이의 계면 결함 감소를 위한 $NH_3$ Plasma Treatment 방법에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.131
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연요철(Anti-Glare) 구조의 표면 유리 기판을 가지는 고효율 태양전지 모듈
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.3 2011 pp.233-241
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요철 구조를 가지는 유리 기판을 이용한 고효율 태양전지모듈
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.417-419
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${\mu}c$-Si window layer를 이용한 박막 태양전지의 고효율화에 관한 simulation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.403
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플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.373-375
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