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RIE 공정으로 제조된 블랙 실리콘(Black Silicon) 층을 사용한 표면 증강 라만 산란 기판 제작

김형주, 김봉환, 이동인, 이봉희, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.30 No.4 2021 pp.267-272

표면 요철구조를 적용한 나노 다공성 Ag 금속박막의 SERS 응답 특성 개선

김형주, 김봉환, 이동인, 이봉희, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.29 No.4 2020 pp.255-260

환경모니터링이 가능한 3D 프린팅 소금쟁이 로봇

심가현, 이기학, 전경한, 조찬섭, 김봉환

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.28 No.6 2019 pp.407-413

표면결함식각 및 반사방지막 열처리에 따른 태양전지의 효율 개선

조찬섭, 오정화, 이병렬, 김봉환

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.13 No.2 2014 pp.29-35

파우더와 솔더를 이용한 저비용 비아홀 채움 공정

홍표환, 공대영, 남재우, 이종현, 조찬섭, 김봉환

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.2 2013 pp.130-135

피라미드 형상 및 반사방지막 조건에 따른 태양전지 효율 개선

오정화, 공대영, 윤성호, 표대승, 홍표환, 김봉환, 이종현, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.480

절연절단 방식의 프로브 빔 제작

홍표환, 공대영, 표대승, 이종현, 이동인, 김봉환, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.449

정전구동 방식의 연동형 마이크로펌프의 제작

홍표환, 정동건, 공대영, 표대승, 이종현, 이동인, 조찬섭, 김봉환

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.448

피라미드 크기가 PDMS Mold 구조에 미치는 영향

표대승, 공대영, 전성찬, 오정화, 홍표환, 김봉환, 이종현, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.294

절연절단법을 이용한 프로브 빔의 제작

홍표환, 공대영, 이동인, 김봉환, 조찬섭, 이종현

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.1 2013 pp.89-94

다양한 동작신호의 사용에 따른 연동형 마이크로 펌프의 성능 향상

홍표환, 정동건, 표대승, 이종현, 조찬섭, 김봉환

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.6 2013 pp.428-432

실리콘 태양전지의 피라미드와 반구형 표면 조직화

표대승, 조준환, 홍표환, 이종현, 김봉환, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.6 2013 pp.433-438

LCD 공정용 C<SUB>3F<SUB>6 가스를 이용한 Si<SUB>3N<SUB>4 박막 식각공정 및 배출가스에 관한 연구

전성찬, 공대영, 표대승, 최호윤, 조찬섭, 김봉환, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.21 No.4 2012 pp.199-204

대면적 플랙시블 기판용 회전자석형 마그네트론 소스 개발

조찬섭, 윤성호, 김봉환, 김광태, 정영철, 이종현

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.11 No.2 2012 pp.1-6

RIE에서 $C_3F_6$ 가스를 이용한 $Si_3N_4$ 식각공정 개발

전성찬, 공대영, 정동건, 최호윤, 김봉환, 조찬섭, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 pp.328-329

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화, 공대영, 조준환, 조찬섭, 윤성호, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.584

MEMS 공정에 적용하기 위한 마이크로 블라스터 식각 특성

조찬섭, 배익순, 이종현

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.20 No.3 2011 pp.187-192

DRE 공정이 태양전지용 재생웨이퍼 특성에 미치는 영향

정동건, 공대영, 윤성호, 서창택, 이윤호, 조찬섭, 김봉환, 배영호, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.3 2011 pp.217-224

마이크로 블라스터를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼 제작

정동건, 공대영, 조준환, 전성찬, 서창택, 이윤호, 조찬섭, 배영호, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.376-377

연요철(Anti-Glare) 구조의 표면 유리 기판을 가지는 고효율 태양전지 모듈

공대영, 김동현, 윤성호, 배영호, 류인식, 조찬섭, 이종현

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.3 2011 pp.233-241