금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.18 No.6 2017 pp.21-28
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.16 No.6 2015 pp.22-28
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InGaZnO 박막 트랜지스터에 대한 광조사 및 게이트 바이어스 스트레스에 대한 열화 현상 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.177
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안테나 구조 변화에 따른 디스플레이 공정용 ICP 장비의 플라즈마 시뮬레이션
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.163
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SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.241
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공정변수변화에 따른 플라즈마 Parameter 특성 변화의 분석 및 해석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.249
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TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.228
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Halogen-based Inductive Coupled Plasma에서의 W 식각시 첨가 가스의 효과에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 p.41
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