패턴 사파이어 기판 위에 AlN 중간층을 이용한 GaN 에피성장
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.123
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The hydrogen content of amorphous Si1-xGex films grown by ECR-UHVCVD
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 pp.154-155
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Laser induced crystallization of amorphous $Sil_{-x}Ge_{x}$ films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 pp.53-54
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UHV-CVD와 UHV-ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 pp.194-195
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산화물 박막을 이용한 인덕터, 캐패시터 및 LC 복합 소자 제조
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.7 No.3 1997 pp.175-179
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수소 플라즈마 세정조건에 따른 LOCOS 형성된 기판에 성장된 실리콘 에피막의 결정성 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.107-108
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Low-temperature Si epilayer growth by UHV-ECRCVD on LOCOS Patterned wafer
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1996 p.99
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