Ultra Thin 실리콘 웨이퍼를 이용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.16 No.12 2003 pp.1237-1241
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[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.51 No.12 2002 pp.597-600
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수직형 Feed-through 갖는 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.15 No.10 2002 pp.889-895
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.15 No.12 2002 pp.1039-1044
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비전도성 에폭시를 사용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 밀봉 실장 특성
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2001 pp.129-133
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.10 No.5 2001 pp.292-303
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[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2001 pp.124-128
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비전도성 에폭시를 사용한 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 밀봉 실장 특성
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.8 No.4 2001 pp.11-15
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화학 기상 증착법으로 저온 증착한 보론 포스파이드의 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회논문집 2000 pp.294-297
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CVD법을 이용한 보론 포스파이드의 저온 층착과 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2000 pp.103-107
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초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT박막 형성 및 식각 특성 평가
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1999 pp.3304-3306
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결정의존성 식각/기판접합을 이용한 MEMS용 구조물의 제작
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1998 pp.411-414
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MEMS-IR SENSOR용 식각-접합-박막증착 기반공정
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1998 pp.2501-2503
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결정의존성 식각/기판접합을 이용한 MEMS용 구조물의 제작
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.11 No.10 1998 pp.815-819
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다중 게이트을 이용한 부분 공핍형 SOI MOSFET 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1997 pp.1286-1288
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