반응가스로 $H_2$ 및 $H_2O$를 사용한 $Co(hfac)_2$ 전구체의 플라즈마에 대한 영향 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.239
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ISPM을 이용한 Silane PECVD 공정 중 발생하는 오염입자 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.338
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
BPSG 및 PSG CVD 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.261
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.150
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TDMAT precursor를 이용한 MOCVD 증착 공정 중 발생하는 오염입자 실시간 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.210
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.208
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반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.193
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.86
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
저압공정 중 발생하는 나노입자 실시간 측정장비에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.468-473
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저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.321
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
반도체 제조공정 중 발생하는 오염입자 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.145-149
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ISPM 및 PBMS를 이용한 BPSG 및 PSG CVD 공정 중발생하는 오염입자의 실시간 측정
[NRF 연계] 한국입자에어로졸학회 PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH Vol.6 No.3 2010.09 pp.139-145
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