$CO_2$ 클러스터 세정을 이용한 오염입자 제거에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.482
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$CO_2$ 클러스터 표면 처리를 이용한 그래핀 특성 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.655
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 세정 공정용 $CO_2$ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.303
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
PECVD 내에서 수소 펄스를 이용하여 생성되는 실리콘 입자의 변수에 따른 입경 분포 특성 실시간 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.113
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용한 실리콘 나노입자 합성 특성의 실시간 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.233
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장치 내 발생 클러스터 크기 분포에 관한 수치해석적 예측
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.40
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.39
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
가스 펄스를 이용한 플라즈마 공정 중 생성되는 실리콘 나노입자의 변수에 따른 발생 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.391
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.304
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
BPSG 및 PSG CVD 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.261
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
용액 내 스파크 방전을 이용한 나노입자 제조 및 특성 평가
[NRF 연계] 한국입자에어로졸학회 PARTICLE AND AEROSOL RESEARCH Vol.8 No.1 2012.03 pp.37-43
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.
- 구매 불가 논문
-