[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.22 No.4 2013 pp.175-180
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화학적기상증착법에 의해 성장된 BixTey 계 박막의 미세구조 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.178
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.2 2011 pp.86-92
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실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.176
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ISPM을 이용한 Silane PECVD 공정 중 발생하는 오염입자 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.338
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열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.50
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