Methylchlorosilanes의 직접 생산 반응에서 반응기구
[Kisti 연계] 한국화학공학회 Korean chemical engineering research Vol.56 No.2 2018 pp.291-296
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철과 코발트 산화물의 수소 환원에 니켈 및 팔라듐 첨가의 효과
[Kisti 연계] 한국수소및신에너지학회 한국수소 및 신에너지학회 논문집 Vol.22 No.1 2011 pp.35-41
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[Kisti 연계] 한국공업화학회 공업화학 Vol.20 No.4 2009 pp.381-385
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[Kisti 연계] 한국수소및신에너지학회 한국수소 및 신에너지학회 논문집 Vol.18 No.3 2007 pp.317-324
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Extended SBM 공정을 이용하여 단일 실리콘 기판상에 제작된 새로운 z 축 가속도계
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.13 No.2 2004 pp.101-109
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SOG(Silicon On Glass)공정을 이용한 수평형 미소가속도계의 제작에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.13 No.6 2004 pp.430-435
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다공성 금속 촉매를 이용한 메틸사이클로헥산의 탈수소 반응
[Kisti 연계] 한국수소및신에너지학회 한국수소 및 신에너지학회 논문집 Vol.15 No.2 2004 pp.152-158
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표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.25 No.3 2001 pp.529-536
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$NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.10 No.5 2001 pp.304-313
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트렌치 산화막을 이용한 단결정실리콘 MEMS 구조물의 절연기술에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.9 No.4 2000 pp.297-306
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MEMS 공정을 위한 여러 종류의 산화막의 잔류응력 제거 공정
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.8 No.3 1999 pp.265-273
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[Kisti 연계] 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회지 Vol.4 No.5 1998 pp.16-25
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저전압 구동용 전기스위치와 미러 어레이 응용을 위한 새로운 표면미세가공기술
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1998 pp.2518-2520
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[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1998 pp.2550-2552
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MEMS용 PSG와 TEOS의 열처리에 따른 잔류응력의 측정
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 1998 pp.2536-2538
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경화촉진제 및 마쇄 이수석고 첨가에 의한 β-반수석고의 수화응결 특성
[Kisti 연계] 한국공업화학회 공업화학 Vol.8 No.5 1997 pp.822-829
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[Kisti 연계] 한국낙농육우협회 월간낙농ㆍ육우 Vol.14 No.10 1994 pp.79-81
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