$NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.10 No.5 2001 pp.304-313
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