[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.1 2021 pp.32-36
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잔류가스분석기 및 발광 분광 분석법을 통한 중간압력의 NF3 플라즈마 실리콘 식각 공정
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.17 No.4 2018 pp.97-100
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임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.17 No.2 2018 pp.16-19
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p-n 접합 형성을 위한 반도체 실리콘 웨이퍼 대기압 플라즈마 붕소 확산 가능성 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.16 No.4 2017 pp.20-24
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대기압 플라즈마를 이용한 결정질 태양전지 표면 식각 공정
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.27 No.4 2017 pp.211-215
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산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.49 No.1 2016 pp.92-97
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.4 2016 pp.33-35
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IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.4 2016 pp.27-32
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펄스변조의 듀티비 변경에 따른 DBD 대기압 플라즈마 특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.25 No.11 2015 pp.616-621
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대기압 플라즈마의 선택적 도핑 공정에서 온도에 의한 인(Phosphorus)의 확산연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.47 No.5 2014 pp.227-232
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대기압 플라즈마 처리에 의한 액체 시료의 전기적 특성 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.528
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새로운 대기압 플라즈마 제트를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.22 No.5 2013 pp.238-244
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새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인(P) 페이스트 도핑에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국신재생에너지학회 신재생에너지 Vol.9 No.2 2013 pp.23-29
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BIPV용 건식 및 습식 텍스쳐링 공정에 의한 다결정실리콘 태양전지 모듈 특성 연구
[Kisti 연계] 한국신재생에너지학회 신재생에너지 Vol.9 No.2 2013 pp.30-39
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새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 태양전지용 고농도 선택적 도핑에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.569
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RIE/WET Texturing구조 태양전지의 모듈 공정 전/후 특성평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.679
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새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 인산 도핑 가능성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국조명전기설비학회 조명·전기설비학회 논문지 Vol.27 No.6 2013 pp.95-99
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전하밀도파 이론으로 결정질 태양전지의 입사각에 따른 단락전류밀도 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.22 No.4 2013 pp.218-224
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새로운 대기압 플라즈마 소스를 이용한 결정질 실리콘 태양전지의 N형 도핑에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.568
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