[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.32 No.10 1992 pp.837-846
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.15 No.4 2016 pp.27-32
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