$NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.10 No.5 2001 pp.304-313
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Silicon-micromachined Microneedle for Suction and Injection of Bio Samples
[Kisti 연계] 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 학술대회논문집 2001 p.179
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표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.9 No.3 2000 pp.224-232
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PSG 희생층 식각시 Al층을 보호하기 위한 새로운 HF/$NH_4F$/Glycerine 혼합 식각액
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.8 No.5 1999 pp.414-420
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