기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.17 No.1 2007 pp.31-36
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The Study of Reproduction Ni Mold for Imprinting by Self Assembled Monolayer Method
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.26
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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.12 2006 pp.731-738
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.563-564
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PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.4 2006 pp.225-230
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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.13 No.3 2006 pp.47-51
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