Fluorocarbon 박막을 이용한 스탬프 복제기술 개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.29
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기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.17 No.1 2007 pp.31-36
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Guard-Ring 변화에 따른 Digital X-ray 검출기 성능 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.22
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Bio Chip의 양산을 위한 마이크로급 구조물을 갖는 SUS 금형제작 및 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.25
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CMP Conditioner의 Diamond 크기, 배열, 형상 변화가 Pad Conditioning 공정에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.27
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Conditioner disk의 diamond의 형상에 따라 Polishing Pad에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2006 p.19
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Vapor SAM을 이용한 점착방지막 증착조건의 최적화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2006 p.18
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[Kisti 연계] 한국소성가공학회 한국소성가공학회 학술대회논문집 2006 pp.86-90
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PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.4 2006 pp.225-230
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2006 pp.563-564
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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.12 2006 pp.731-738
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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2006 p.20
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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.13 No.3 2006 pp.47-51
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Disposable Microfluidic Chip 제작을 위한 PMMA간 접합공정 개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2006 p.13
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반도체 습식 세정 공정 중 상온의 초순수와 염기성 수용액 내에서 오존의 용해도 최적화
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.4 No.4 2005 pp.19-26
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