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Effects of DC Biases and Post-CMP Cleaning Solution Concentrations on the Cu Film Corrosion
[Kisti 연계] 한국부식방식학회 Corrosion science and technology Vol.9 No.6 2010 pp.276-280
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Determination of Na and Al Ions in Semiconductor Cleaning Solution Using Capillary Electrophoresis
[Kisti 연계] 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society Vol.24 No.12 2003 pp.1838-1840
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[Kisti 연계] 대한치과보철학회 The journal of advanced prosthodontics Vol.8 No.3 2016 pp.172-180
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OLED공정에서 사용되는 섀도마스크의 습식 세정 후 세정표면 및 세정용액 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.23 No.4 2016 pp.7-10
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수계 세정시스템의 세정액/헹굼수의 모니터링 및 재활용 기술 분석
[Kisti 연계] 한국청정기술학회 청정기술 Vol.7 No.4 2001 pp.225-242
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반도체 습식 세정 공정중 SC1 세정 용액에 킬레이팅 에이전트 첨가에 의한 오염 입자와 금속 오염물 제거 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.56
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산화구리 잔유물 제거를 위한 카르복시산 함유 반수계 용액의 세정특성
[Kisti 연계] 한국화학공학회 Korean chemical engineering research Vol.54 No.4 2016 pp.548-554
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탈질 스크러버 폐 세정액에 포함된 질안석회 추출을 위한 응집제 적용 연구
[Kisti 연계] 한국유화학회 한국유화학회지 Vol.34 No.2 2017 pp.289-295
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아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
[Kisti 연계] 한국화학공학회 Korean chemical engineering research Vol.59 No.4 2021 pp.632-638
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폐드럼 세척 공정의 폐액재생을 위한 회분식 증류 시스템 개발
[Kisti 연계] 한국에너지공학회 한국에너지공학회 학술대회논문집 2003 pp.149-152
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소프트렌즈 재질 별 누액단백질 침착 및 계면활성제 종류에 따른 다목적용액의 세척효율
[Kisti 연계] 한국안광학회 Journal of Korean Ophthalmic Optics Society Vol.19 No.2 2014 pp.179-188
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반도체 습식 세정 공정 중 상온의 초순수와 염기성 수용액 내에서 오존의 용해도 최적화
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.4 No.4 2005 pp.19-26
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자율 청소 로봇을 위한 미지의 환경에서의 새로운 경로 계획 방법
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2001 pp.2335-2337
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고온화학세정환경에서 20 % EDTA 용액이 결함 전열관 (Alloy600)에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국부식방식학회 Corrosion science and technology Vol.15 No.2 2016 pp.84-91
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세척용 구형입자 순환에 따른 활성슬러지내 침지식 평막의 막간차압
[Kisti 연계] 한국막학회 멤브레인 Vol.28 No.1 2018 pp.62-66
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[NRF 연계] 대한임상검사과학회 대한임상검사과학회지 Vol.53 No.1 2021.03 pp.19-31
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Effectiveness of Solution with 5% Detergent for Cleaning Transnasal Esophagogastroduodenoscopy Lens
[NRF 연계] 대한소화기내시경학회 Clinical Endoscopy Vol.54 No.2 2021.03 pp.236-241
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CMP 후 세정 공정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에따른 세정액 유동 해석
[NRF 연계] 한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Vol.40 No.6 2024.12 pp.299-302
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착화제 첨가에 따른 웨이퍼 세정 용액 특성 분석 및 금속 용해 거동
[NRF 연계] 한국분말재료학회 한국분말재료학회지 Vol.28 No.1 2021.02 pp.25-30
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