An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology
[Kisti 연계] 대한기계학회 Journal of mechanical science and technology Vol.20 No.4 2006 pp.505-512
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흡광 액체의 펄스 레이저 가열에 의해 생성된 기포 거동의 실험적 해석
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집B Vol.30 No.5 2006 pp.413-421
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ISDG를 이용한 박막의 인장시험 장치 개발 및 물성 평가
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.22 No.12 2005 pp.28-33
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Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.12 No.3 2005 pp.197-205
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패키징으로 인한 응력이 MEMS 소자에 미치는 영향 분석 및 개선
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.22 No.11 2005 pp.165-172
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SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.12 No.3 2005 pp.187-196
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온도변화에 따른 MEMS 자이로스코프 패키지의 미소변형 측정
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.11 No.4 2004 pp.13-22
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