EPS(elementwise patterned stamp)활용 UV나노임프린트 공정에서의 웨이퍼 미소변형의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.35-39
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전극위에 유전 영동법을 이용한 탄소 나노튜브의 조립기술
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2005 pp.1535-1538
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Diamond-1ike carbon 코팅기술을 사용한 UV-임프린트 스탬프 제작
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회 학술대회논문집 2005 p.238
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.22 No.2 2005 pp.16-22
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UV 나노임프린트 리소그래피 공정에서 레지스트 도포의 최적화를 통한 잔류층 두께의 최소화
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2005 pp.633-636
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Elementwise Patterned Stamp와 부가압력을 이용한 UV 나노임프린트 리소그래피
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2005 pp.672-675
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다이아몬드공구에 의한 프리즘형 도광판 금형 가공기술 연구
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2005 pp.1597-1600
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EPS(Elementwise Patterned Stamp)를 이용한 UV 나노임프린트 공정에서 웨이퍼 변형에 따른 잔류층 분석
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.29 No.9 2005 pp.1169-1174
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[Kisti 연계] 한국소성가공학회 소성가공 Vol.14 No.3 2005 pp.245-250
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Diamond-like carbon 코팅기술을 사용한 UV-임프린트 스탬프 제작
[Kisti 연계] 한국소성가공학회 한국소성가공학회 학술대회논문집 2005 pp.167-170
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마이크로 광 조형에서 레이저 주사조건에 따른 광 경화성수지의 경화현상
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.3 2004 pp.171-179
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UV-NIL(Ultraviolet-Nano-Imprinting-Lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.39-45
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$Si_3N_4$-BN계 가공성 세라믹스의 마이크로 홀 가공특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.4 2004 pp.48-56
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.7 2004 pp.46-52
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2004 pp.1466-1469
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3 차원 형상의 미소제품 제작을 위한 마이크로 광 조형시스템의 개발
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.21 No.2 2004 pp.186-194
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Elememtwise Patterned stamp와 부가압력을 이용한 UV 나노임프린트 리소그래피 공정
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2004 p.126
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2004 pp.496-500
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