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High Impedance Filter를 이용한 RF Loss 최소화 방법에 대한 연구

왕현철, 서화일

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.1 2020 pp.55-60

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반도체 장비 히터로드 유착 개선에 관한 연구

왕현철, 서화일

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.1 2020 pp.67-72

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PE-CVD 장비의 샤워헤드 표면 온도 모니터링 방법

왕현철, 서화일

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.19 No.2 2020 pp.16-21

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