Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.30
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.29
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Nano Mother Mold의 재사용을 위한 Imprinting용 Ni Nano Stamp 복제공정개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.32
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건축물 해체 시 발생하는 건설폐기물 처리의 문제점 및 개선방향
[Kisti 연계] 한국건설관리학회 한국건설관리학회 학술대회논문집 2008 pp.536-539
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Cu ECMP 공정에서 전해액이 연마거동에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.18 No.6 2008 pp.334-338
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Slurry내 분산 안정제가 Ru CMP 거동에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 p.112
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Imprinting을 이용한 DNA array chip용 Nano well 형성방법
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.33
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[Kisti 연계] 한국공업화학회 공업화학 Vol.19 No.2 2008 pp.173-178
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광통신 응용을 위한 2.5Gbps CMOS CDR회로 설계
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2008 pp.509-510
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공동주택의 엘리베이터 수직 확장 공사를 위한 사전 검토항목
[Kisti 연계] 한국건설관리학회 한국건설관리학회 학술대회논문집 2008 pp.813-816
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Array Type의 Single Photon Counting Digital X-ray Detector의 제작 및 특성 평가
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 p.32
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ILD CMP 공정중 발생하는 Scratch 발생기구에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.119-120
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Effect of pH in Sodium Periodate based Slurry on Ru CMP
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 p.117
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
오염방지막 코팅을 통한 Diamond Conditioner의 표면오염 방지
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 p.114
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기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.17 No.1 2007 pp.31-36
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Fluorocarbon 박막을 이용한 스탬프 복제기술 개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.29
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오존수를 이용한 실리콘 웨이퍼 연마 후 지용성 왁스 제거 효율 및 습식 세정 공정의 최적화에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.20
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Ru CMP(Chemical Mechanical Planarization)에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.21
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Guard-Ring 변화에 따른 Digital X-ray 검출기 성능 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.22
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레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.24
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