금속 패터닝과 Blank노광을 이용한 감광성 유리의 미세가공
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.46 No.3 2013 pp.99-104
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.29
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