간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국재료학회
- 수록기간
- 1995
- 주제분류
- 공학 > 재료공학
Vol.2 No.e1 (9건)
THE FORMATION AND PREVENTION OF WATER MARIS IN HF LAST WET CLEANING PROCESSES
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.737-742
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
EFFECTS OF THE REMOTE H-PLASMA TREATMENTS FOR THE REMOVAL OF CU IMPURITY ON SI SUBSTRATE
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.743-748
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[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.755-760
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TYNGSTEN ETCHBACK PROCESS FOR SUB-HALF MICRON CONTACTS USING HELICON HIGH DENSITY PLASMA
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.761-766
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XPS Analysis of Oxide Etch Polymer in Inductively Coupled High Density Plasmas
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.767-771
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[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.777-781
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[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.783-788
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STABILITY OF SULFIDATION-TREATED GaAs SURFACE WTIH ${(NH_4)}_2S_X$ SOLUTION AFTER AIR-EXPOSURE
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.789-794
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CARBONACEOUS CONTAMINATION SOURCES OF HYDROGEN-PASSIVATED SILICON SURFACE
[Kisti 연계] 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials Vol.2 No.e1 1995 pp.795-800
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