earticle

저 염소 TiN필름 제조를 위한 CVD 반응기 내의 유동해석

임익태, 전기영

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.1-6

Replication 공정을 이용한 Polymer Heat Exchanger 제작

정순호, 김영철, 서화일

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.7-11

Muller matrix ellipsometry 제작 및 응용

방경윤, 경재선, 오혜근, 김옥경, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.12-17

Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer

경재선, 방경윤, 최은호, 손영수, 안일신, 오혜근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.18-22

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인, 김민철, 강찬민

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.23-25

고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치 개발

주정훈

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.26-30

반도체 제조라인의 냉각 시스템 효율성 증대에 관한 연구

김기운, 김광선, 곽승기, 박만호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.35-41

$HfO_2$ 박막과 Si 기판사이에 다양한 산화제로 증착한 $Al_{2}O_{3}$ 방지막을 사용한 경우에 대한 고찰

조문주, 박홍배, 박재후, 이석우, 황철성, 정재학

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.42-44

Direct Liquid Injection Metal Organic Chemical Vapor Deposition of $HfO_2$ Thin Films Using $Hf(dimethylaminoethoxide)_4$.

송문균, 강상우, 이시우

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.45-49

반도체 제조장비용 고성능 DSP를 이용한 AC 서보 모터 벡터 제어 시뮬레이션

한상복, 황인성, 홍선기

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.50-53

FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성에 대한 연구

강상원, 김선욱, 임승만, 김수길, 신영화

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.54-58

2단계 증착방법을 이용한 ZnO 압전박막 증착 및 특성 분석

정수봉, 김수길, 홍철광, 신영화

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.59-63

Nano-level Device 제조를 위한 신 메탈 전극 세정에 관한 연구

변재호, 송용화, 천희곤

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.64-67

6, 7세대 TFT-LCD 공장의 노광기 진동 저감 대책에 관한 연구

이홍기, 박해동, 백재호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.68-77

(Bi, La)$Ti_{3}O_{12}$ 강유전체 박막의 전기적 특성

서강모, 공수철, 박지호, 장호정

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.78-81

두꺼운 감광막의 노광 파장에 따른 측면 기울기에 관한 연구

한창호, 김학, 전국진

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.82-85

Gate 산화막으로 $HfO_2$ 박막을 이용하여 제작한 NFET 특성 고찰

박재후, 조문주, 박홍배, 이석우, 박태주, 이치훈, 황철성

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.86-88

1.8V-구동 Bipolar Integrated Optical Link 수신기

장지근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.89-93

Carbon Nanofibers with Controlled Size and Morphology Synthesized with a Ni-MgO Catalyst Treated by Mechnochemical Process

Fangli, Yuan, Ryu, Ho Jin

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.94-98

스크린 프린팅법을 이용하여 제조된 고분자 전해질 연료전지의 MEA 특성

임재욱, 최대규, 류호진

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.99-104

MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성

정귀상, 김재민

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.105-108

Luminescence characteristics of amorphous GaN quantum dots prepared by laser ablation at room temperature

Shim, Seung Hwan, Yoon, Jong-Won, Koshizaki, Naoto, Shim, Kwang Bo

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.109-116

A 5-17 GHz Wideband Reflection-Type Phase Shifter Using Digitally Operated Capacitive MEMS Switches

Kim, Jung-Mu, Lee, Sang-Hyo, Park, Jae-Hyoung, Baek, Chang-Wook, Kwon, Young-Woo, Kim, Yong-Kweon

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.117-121

나노 세리아 슬러리에 첨가된 연마입자와 첨가제의 농도가 CMP 연마판 온도에 미치는 영향

김성준, 강현구, 김민석, 박재근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.122-125

인산염계 유리와 BNT 세라믹 복합체의 저온소결 및 마이크로파 특성평가

이용수, 오영석, 강원호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.126-129

Characteristics and Fabrication of 2-Dimensional High Speed pH Image LAPSwith the $Si_{3}N_{4}$ and the $Ta_{2}O_{5}$ Sensing Membrane

권대혁, 정영희, 장수원, 김재호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.136-140

A New Technique for Ultrasonic Thickness Measurement of Thin Film

Im, Nohyu-K., Moon, Byung-Jun

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.141-145

Analysis of Hygrothermal Stresses in a Viscoelastic Thin Film

Lee, Sang-Sun

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.146-153

Calibration Methodology for TCAD System

이준하, 이홍주

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.160-162

SHAPE EFFECT ON PERFORMANCE OF MULTILAYER CERAMIC ACTUATOR

S. B., Wee, S. J., Jeong, J. S., Song

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.163-168