간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- 수록기간
- 2002 ~ 2008
- 주제분류
- 공학 > 전기공학
2003년도 춘계학술대회 발표 논문집 (24건)
비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.1-3
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.4-7
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.8-11
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MICP(Multi-pole Inductively Coupled Plasma)를 이용한 deep contact etch 특성 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.12-17
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Dislocation densities of CMP processed sapphire wafers for GaN epitaxy
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.18-22
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압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH 의 식각특성 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.23-28
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.29-33
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반도체 Package 용 Seam Seal Welding System 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.34-39
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반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.40-46
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.47-50
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반도체 소자의 DC 특성 검사를 위한 DC parameter test 회로설계에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.51-54
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반도체 소자의 논리결함검출을 위한 pattern generator 회로설계에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.55-58
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.59-63
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Flexible Cable 가공기의 지능형 진단 시스템
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.64-67
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$p^+-cap$ 구조를 갖는 실리콘 pin 다이오드의 설계와 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.68-70
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.71-73
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.74-79
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Wafer 반송용 End-Effector의 설계 및 파지력 제어에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.80-87
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반도체 플립칩 몰드 설계를 위한 가압식 Underfilling 수치해석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.88-93
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Virtual Integrated Prototyping Simulation Environment for Plasma Chamber Analysis and Design
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.94-97
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.98-105
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ALD법과 PAALD법을 이용한 Cu 확산방지막용 TaN 박막의 특성 비교 및 분석
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.106-111
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Sub-90nm 급 Logic 소자에 대한 기생 저항 성분 추출의 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.112-115
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.116-119
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