간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- 수록기간
- 2002 ~ 2008
- 주제분류
- 공학 > 전기공학
2002년도 추계학술대회 발표 논문집 (29건)
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.1-2
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry의 개발 및 응용
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.3-9
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Si기판상의 BST박막 제조를 위한 MgO 완충층의 제조 및 특성
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.10-13
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PAALD 방법을 이용한 TaN 박막의 구리확산방지막 특성
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.14-19
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폐슬러지를 이용한 SiC를 합성하기 위한 열역학적인 고찰
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.18-19
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증발을 고려한 Wafer Spin Coating 박막 예측에 관한 수치 해석적 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.20-26
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Estimation of Thermal Stresses Induced in Polymeric Thin Film Using Boundary Element Methods
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.27-33
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.34-46
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A suspension type spiral inductor for multi-GHz applications
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.47-48
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.50-53
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Soft Magnetic Properties of CoNbZr amorphous Films with Pd addition
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.54-58
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Fabrication of Micromachined Ceramic Thin-Film Pressure Sensors for High Overpressure Tolerance
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.59-63
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.64-68
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Preparation of $(Bi,La)Ti_{3}O_{12}$ Thin Films on $Al_{2}O_{3}/Si$ Substrates by the Sol-Gel Method
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.69-71
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Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.72-74
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.75-78
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.79-80
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Electrical and Optical Characteristics of Isoelectronic Al-doped GaN Films
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.81-84
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$RuO_2$ Related Schottky contact for GaN/AlGaN device
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.85-90
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.91-93
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Vibration Reduction of Spin Etcher
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.94-96
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Analysis for Design of a High Vacuum Turbomolecular Pump
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.97-99
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.100-111
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Measurement of Monodisperse Particle Charging in Unmagnetized and Magnetized Plasmas
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.112-114
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Flow Measurement and Control by Time-Based Method
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.115-116
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Electrolyzed water cleaning for semiconductor manufacturing
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.117-119
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Investigation of Adhesion Mechanism at the Metal-Organic Interface Modified by Plasma - Part I
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.123-126
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A Study on Moldability by Using Fuzzy Logic Based Neural Network(FNN)
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.127-129
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EPD time delay in etching of stack down WSix gate in DPS+ poly chamber
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2002 pp.130-136
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