Development of a Pad Conditioning Method for ILD CMP using a High Pressure Micro Jet System
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.8 No.1 2007 pp.26-31
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Thermal, Tribological, and Removal Rate Characteristics of Pad Conditioning in Copper CMP
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials Vol.8 No.2 2007 pp.67-72
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A control system for dual-axis linear motor
[Kisti 연계] 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 학술대회논문집 1992 pp.340-343
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A microcomputer controlled alignment system using moire sensors
[Kisti 연계] 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 학술대회논문집 1991 pp.1961-1965
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