MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.11 2013 pp.831-835
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