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PECVD 내에서 수소 펄스를 이용하여 생성되는 실리콘 입자의 변수에 따른 입경 분포 특성 실시간 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.113
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용한 실리콘 나노입자 합성 특성의 실시간 분석에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.233
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바이오 센서 응용을 위한 Tree-like 실리콘 나노와이어의 표면성장 및 특성파악
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.346
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가스 펄스를 이용한 플라즈마 공정 중 생성되는 실리콘 나노입자의 변수에 따른 발생 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.391
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RF 플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자의 합성 및 태양전지 응용에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.198
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