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Ionized Cluster Beam 증착방법을 이용한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

최성창, 황보상우, 조만호, 김남영, 홍창의, 이덕형, 심태언, 황정남

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.1 1996 pp.54-61

ICBD 법에 의한 $ Y_2O_3$박막특성에 관한 연구

전정식, 문종, 이상인, 심태언, 황정남

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.245-250

RICBD 법에 의한 $Y_2O_3$ 박막특성에 관한 연구

전정식, 문종, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1996 p.69

강유전체 메모리의 PZT와 Pt 식각특성

주석호, 문종, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1996 p.107

고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화

이기홍, 조만호, 이덕형, 문종, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 pp.45-46

매엽식 LPCVD법에 의한 in-situ boron doped polysilicon막의 증착

김병희, 남승희, 문종, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.4 No.s1 1995 pp.7-12

$N_2$O 분위기에서 RTP로 제조한 실리콘 산화막의 산화 반응

박진성, 이우성, 심태언

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.3 No.1 1993 pp.7-11

Polycide구조에서 SITOX방법을 이용한 Ti-silicide의 고온 안정성 개선

김호석, 최진석, 황유상, 백수현, 정재경, 김영남, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 pp.59-60

열처리조건과 부도체 박막 변화에 따른 다결정 실리콘 게이트에서의 보론 거동조사

김동원, 문환구, 이우성, 한철헌, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.50

$CsX^+$ SNMS의 Matrix Effect 감소연구

문환구, 김동원, 한철현, 김영남, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.115-120

RTP로 $N_2$O 분위기에서 제조한 Oxynitride Gate 절연체의 물질적 전기적 특성

박진성, 이우성, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.2 No.4 1992 pp.285-292

Al-1% Si층과 Ti-silicide층의 반응에 관한 연구

황유상, 백수현, 송영식, 조현춘, 최진석, 정재경, 김영남, 심태언, 이종길, 이상인

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.2 No.6 1992 pp.408-416

Composite target으로 증착된 Mo-silicide의 형성 및 불순물의 거동

조현춘, 백수현, 최진석, 황유상, 김호석, 김동원, 심태언, 정재경, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.2 No.5 1992 pp.375-382

CsX+ SNMS의 Matrix Effect 감소연구

문환구, 김동원, 한철현, 김영남, 심태언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.17-18

Study of Annealed Ti/SiO2 Interface Reaction Using XppS

김영남, 이내인, 문환구, 한철현, 김영욱, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.89-90

Cleaning Technology의 최근 동향

심태언

[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.18 No.9 1991 pp.23-29

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석, 백수현, 송영식, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.1 No.4 1991 pp.191-197

Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)

최진석, 강성건, 황유상, 백수현, 김영남, 정재경, 문환구, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.1 No.3 1991 pp.168-174