earticle

방사광을 이용한 Si 웨이퍼 표면불순물 검출감도 향상

김흥락, 김광일, 강성건, 김동수, 윤화식, 류근걸, 김영주

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.8 No.1 1999 pp.13-19

단일 이온 빔 증착법을 이용한 $MgF_2$ 및 $ZrO_2$ 박막의 제조

강종석, 강성건, 김홍락, 김동수, 김광일

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.150

SAW Filter 제작과 전력 내구성 검토

김동수, 강성건, 김흥락, 김광일, 남효덕, 이만형

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1998 pp.109-112

고주파 SAW Filter 의 제작과 Filter 특성

이동욱, 김동수, 강성건, 류근걸, 남효덕, 이만형

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.56-59

Bonded SOI 웨이퍼 제조를 위한 기초연구

문도민, 강성건, 정해도

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 1997 pp.921-926

전자빔 처리된 스테인레스강판 표면의 진공 거동

강성건, 김홍락, 김동수, 류근걸

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.96

전기적 방법을 이용한 실리콘 단결정 내 미세 결함의 검지

김기범, 서희돈, 김흥락, 강성건, 류근걸

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1997 pp.521-524

AFM을 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 연구

이성호, 김홍락, 서광, 강성건, 김동수, 류근걸

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 pp.108-109

반도체 산업용 스테인레스강 표면 연구

김흥락, 강성건, 이성호, 김동수, 류근걸, 이주협

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 pp.160-161

접합 SOI 웨이퍼내의 계면고찰

홍필영, 문동찬, 강성건, 서광, 김홍락, 류근걸

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 pp.90-91

반도체 라인용 스테인레스 튜브 평가

강성건, 김흥락, 이성호, 김동수, 류근걸, 이주협

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 pp.158-159

DLTS 측정에 의한 접합 SOI 웨이퍼내의 결함 분석

김홍락, 강성건, 이성호, 서광, 김동수, 류근걸, 홍필영

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.23-24

P형 실리콘 웨이퍼내의 금속 불순물 분석

이성호, 김홍락, 서광, 강성건, 김동수, 류근걸, 홍필영

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.32-33

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건, 서광, 김흥락, 류근걸

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1993 pp.143-144

Ti-silicide 박막 형성시 규소 기판에 이온 주입된 붕소 거동에 대한 SIMS 분석

황유상, 백수현, 조현춘, 마재평, 최진석, 강성건

[Kisti 연계] 한국분석과학회 분석과학 Vol.5 No.2 1992 pp.199-202

Ta층을 사용한 Ti-silicide의 응집화 방지에 관한 연구

강성건, 최진석, 황유상, 배수현, 정재경, 조현춘

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 pp.61-62

Composite target으로 증착된 Ti-silicide의 형성에 관한 연구(I)

최진석, 강성건, 황유상, 백수현, 김영남, 정재경, 문환구, 심태언, 이종길

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.1 No.3 1991 pp.168-174