SIMS Depth Profiling Analysis of Cl in $TiCl_4$ Based TiN Film by Using $ClCs_2^+$ Cluster Ions
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.161
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Characterization of the Interface & $ZrO_2$ film fabricated by Atomic Layer Deposition method
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.138
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Backside SIMS 및 AES Rotation Sputtering 기법 적용을 통한 Cu Barrier Metal 안정성 검증
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.213
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고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.136
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HR-XRD로 측정된 $Si_{1-X}Ge_X$ 에피 박막의 조성 및 두께 결과 신뢰성 검증
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.246
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XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.122
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XRR을 이용한 ALD HfxAlyOz 박막의 물성 변화 관찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.121
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Ar+-ion Bombardment가 Bi-계 박막의 조성과 화학 결합 상태에 미치는 영향 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.94-95
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Accurate SIMS Depth Profiling of Ultra Shallow Phosphorus & Arsenic by Oxygen Flooding
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.97-98
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$Ar^+$이온 충격이 MOD 법에 의해 제조된 ${SrBi_2}{Ta_2}{O_9}$박막의 화학 상태에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.37 No.11 2000 pp.1084-1090
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이온주입 에너지에 따른 Auger Si KLL Peak Shift 및 Ti 계열 화합물의 Chemical State 관찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.83
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SBT 박막의 AES 정량화 및 Ar Ion damage에 의한 $Bi_xO_y$구조의 Reduction에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1999 p.108
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Heterostructure 열처리에 의한 Bi 조성 제어가 SrBi$_2$Ta$_{2-x}$Nb$_x$O$_9$ 박막의 강유전 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.35 No.10 1998 pp.1040-1048
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Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 p.6
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Co/Ti이중박막을 이용한 $CoSi_2$에피박막형성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.4 No.1 1994 pp.81-89
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