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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Si 기판상의 AlN 박막의 제조

조찬섭, 김형표

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.17-21

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열박막 풍속계의 제작 및 특성

김형표, 조찬섭

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.9 No.3 2000 pp.190-195

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박막 히터형 유량센서의 온도보상

김형표

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.9 No.4 2000 pp.268-273

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