Pin-to-plate DBD system을 이용하여 HMDS/$O_2$ 유량 변화에 따라 증착된 $SiO_2$ 박막 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.447
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Pin-To-Plate Dielectric Barrier Discharge 방식의 유도형 대기압 플라즈마를 이용한 $SiO_2$ 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.274
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Dielectric Barlier Discharge type 대기압 플라즈마 발생장치를 이용한 $SiO_2$ 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 p.95
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