Carbon 계 유기막질 Plasma Etching에 있어 COS (Carbonyl Sulfide) Gas 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.460
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배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.247-251
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Si/SiGe Epitaxial Growth by UHV-CVD
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.92
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Co/Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.335-340
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Ti Capping Layer에 의한 Co-silicide 박막의 형성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2000 p.61
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다결정 Si기판 위에서의 Co/Ti 이중층의 실리사이드화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.7 1998 pp.579-583
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$\textrm{SiO}_2$기판 위에 증착된 Co/Hf 이중층의 계면반응
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.9 1998 pp.791-796
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[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.10 1998 pp.956-960
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.3 1998 pp.208-213
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Co/metal/Si 이중층 구조의 실리사이드화 열처리에 따른 dopant의 재분포
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.3 1998 pp.189-194
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Co/내열금속/(100) Si 이중층 구조의 실리사이드화
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.35 No.5 1998 pp.505-511
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Si 분산 조직의 p형 $\beta-FeSi_2$ 열전재의 제조 및 특성(l)-제조 조건에 따른 미세조직의 변화-
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.7 1998 pp.584-590
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Co/Ti(100)Si 이중층을 이용한 에피텍셜 Co 실리사이드의 형성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.6 1998 pp.484-492
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Co/M/(100)Si에서의 dopant의 열처리에 따른 재분포
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.12
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고온공정시 텅스텐 동시 contact에서 TiN barrier의 Failure Mechanism에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.18
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