광방출 분석법을 이용한 산화물 식각 장비의 세정 주기 최적화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.6 2011 pp.416-421
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2009 pp.834-836
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2009 pp.1483-1485
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Atmospheric Pressure Plasma Ashing of Photoresist Using Pin to Plate Dielectric Barrier Discharge
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2009 pp.1500-1503
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2009 pp.1568-1570
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2009 pp.1490-1493
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Improvement of electron field emission from carbon nanotube film by neutral beam treatment
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.76
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2007 pp.933-936
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Electronic Charge Transfer at the $Alq_3/Ba$ and $Alq_3/Au$ Interfaces by NEXAFS Spectroscopy
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2007 pp.1457-1460
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저에너지의 Ar 중성빔을 이용한 Silicon의 Atomic Layer Etching
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.4 2006 pp.213-217
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선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.39 No.3 2006 pp.142-146
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새로운 정공차폐 층 (Hole blocking layer)으로 DCJTB 도핑된 24MeSAlq를 이용한 백색유기발광다이오드
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.16 No.4 2006 pp.231-234
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2006 pp.544-547
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Formation of Neutral Beam by Low Angle Reflection
[Kisti 연계] 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology Vol.7 No.1 2003 pp.23-26
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Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2002 pp.860-863
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Characteristics of linearly Extended Inductively Coupled Plasmas with Magnetic Fields
[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2002 pp.846-848
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PROPERTIES OF Mo COMPOUNDS AS A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Cu AND Si PREPARED BY CO-SPUTTERING
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.32 No.3 1999 pp.433-439
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CHARACTERISITCS OF CHLORINE IND DUCTIVELY COUPLED PLASMAS AND THEIR SILICON ETCH PROPERTIES
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.29 No.6 1996 pp.816-823
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MO-COMPOUNDS AS A DIFFUSION BARRIER BETWEEN Cu AND Si
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.29 No.6 1996 pp.683-690
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