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The Journal of Korean vacuum science & technology

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Vol.7 No.2 (4건)

Large Cryosorption Pump for the NBI Test Stand

In, S.R., Shim, H.J.

[Kisti 연계] 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology Vol.7 No.2 2003 pp.27-32

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

Fluorinated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition with $C_4$F$_8$ and $Si_2H_6/He$ for low dielectric constant intermetallic layer dielectrics

Kim, Howoon, Shin, Jang-Kyoo, Kwon, Dae-Hyuk, Lee, Gil S.

[Kisti 연계] 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology Vol.7 No.2 2003 pp.33-38

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Electromigration Characteristics in PSG/SiO$_2$ Passivated Al-l%Si Thin Film Interconnections

Kim, Jin-Young

[Kisti 연계] 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology Vol.7 No.2 2003 pp.39-44

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Development of High Flux Metal Ion Plasma Source for the Ion Implantation and Deposition

Kim, Do-Yun, Lee, Eui-Wan

[Kisti 연계] 한국진공학회 The Journal of Korean vacuum science & technology Vol.7 No.2 2003 pp.45-56

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