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PCR 장치를 위한 플라즈마 식각에 관한 연구

김진현, 류근걸, 이종권, 이윤배, 이미영

[Kisti 연계] 한국청정기술학회 청정기술 Vol.9 No.3 2003 pp.101-105

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전리수를 이용한 반도체 세정 공정

류근걸, 김우혁, 이윤배, 이종권

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.1-6

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