소형 GM 냉동기를 이용한 수소 액화에 관한 시뮬레이션 연구
[Kisti 연계] 한국수소및신에너지학회 한국수소 및 신에너지학회 논문집 Vol.33 No.5 2022 pp.534-540
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Process Characteristics and Applications of High Density Plasma Assisted Sputtering System (HiPASS)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.95
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High Density Plasma Sputtering System (HIPASS) 방법을 통한 TiN 박막 증착 및 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.254
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Enhancement of Electrical and Optical Properties of AZO Thin Film Fabricated by Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.168
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Characteristics of Al Doped ZnO Thin Film by Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.430
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2D Fluid Modeling of Ar Plasma in a 450 mm CCP Reactor
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.267
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Al doped ZnO 박막 증착을 위한 모듈레이티드 펄스 스퍼터링
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.2 2012 pp.53-60
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SiO2 식각 시 CF4+Ar 혼합비에 따른 플라즈마 내의 화학종 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.238-239
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수치모델과 고속 CCD 카메라를 이용한 세변기 표면 처리 효과 특성 해석
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.44 No.1 2011 pp.32-37
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마이크로파 Plasma 탄소 섬유 처리 장치에서 입력 전력에 따른 온도 변화
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.162
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300 mm 웨이퍼용 장치에서 펄스 바이어스가 인가된 고밀도 유도결합 플라즈마의 수치 계산
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.112
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ICP 식각 장치에서 GDP 구조 및 유량비율에 의한 플라즈마 균일도 최적화에 대한 수치해석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.280
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300 mm 웨이퍼용 식각 장비에서 병렬 안테나의 전류비 조절에 의한 식각 균일도 측정
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.155
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백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.43 No.6 2010 pp.304-308
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
450 mm 웨이퍼 공정용 System의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 균일도 모델링 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.3 2010 pp.190-198
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백색 LED증착용 MOCVD장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.463
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450mm 웨이퍼 공정용 system의 기하적 구조에 따른 플라즈마 균일도 수치 모델링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.256
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백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.115
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초고속 카메라를 이용한 toilet의 flushing에 의한 오염 분석과 수치 모델링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.75
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직류와 양극성 펄스직류에 의한 스퍼터링시 타겟 표면의 온도 분포와 그 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.1 2010 pp.45-51
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