마이크로파 Plasma 탄소 섬유 처리 장치에서 입력 전력에 따른 온도 변화
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.162
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플라즈마에 의한 웨이퍼 가열과 Si 식각 속도의 변화 모델링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.291
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300 mm 웨이퍼용 식각 장비에서 병렬 안테나의 전류비 조절에 의한 식각 균일도 측정
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.155
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SiO2 식각 시 CF4+Ar 혼합비에 따른 플라즈마 내의 화학종 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.238-239
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백색 LED증착용 MOCVD장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.463
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내장형 무선 카메라를 이용한 high vacuum system 내부 실시간 모니터링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.116
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내장형 무선 카메라를 이용한 ICP 보조 스퍼터링 장치의 실시간 모니터링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.476
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백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.115
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
백색 LED 증착용 MOCVD 장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.43 No.6 2010 pp.304-308
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미니 진공시스템을 이용한 역류방지 센터링의 배기 특성 측정
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.255-256
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내장형 무선 카메라를 이용한 In-Line type 스퍼터링 시스템 내부의 실시간 모니터링
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.243-244
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마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.408
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Oil rotary pump의 oil dumping 방지를 위한 anti suck back centering의 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.379
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