Density Functional Theory를 이용한 orthorhombic-NiSi (010)/Si 계면 층의 구조 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.107-108
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DFT를 이용한 Si (001) 기판의 에피택시 NiSi 구조 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.4 2007 pp.65-68
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Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.19-23
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평면 광스플리터와 리본형 광파이버의 정밀 결합을 위한 V-groove연결소자의 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.61-64
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Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.87
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접촉형 변위센서를 이용한 LCD노광기용 스테이지 시스템
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.1 2007 pp.7-10
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[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.17 No.7 2007 pp.358-360
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NiSi와 $NiSi_2$에 대한 Co 치환의 영향: ab initio 계산
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.13-17
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Formation of Nickel Silicide from Atomic Layer Deposited Ni film with Ti Capping layer
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.193-198
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.221-224
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접촉형변위센서를 이용한 노광기용 마스크-글라스간 갭 및 평형 조절 장치
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.120-125
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평면 optical splitter와 ribbon optical fiber의 정밀 결합을 위한 실리콘 V-groove 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.216-220
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니켈실리사이드에 미치는 $SiO_2$ 보호층의 스트레스 평가
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.105-109
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PECVD를 이용한 고굴절률차 SiON 평면 광도파로 박막 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.211-215
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2005 pp.93-96
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2005 pp.106-109
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PECVD에 의한 비정질 불화탄소막의 증착 및 특성분석
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.13 No.3 2004 pp.182-187
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광 저장장치 응용을 위한 마이크로 미러의 제작과 그 특성
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.11 No.1 2002 pp.39-47
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[Kisti 연계] 한국지능시스템학회 Journal of Korean Institute of Intelligent Systems Vol.12 No.1 2002 pp.39-43
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Design of a New ISFET Array Chip
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.4 No.4 1995 pp.55-61
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