earticle

Effect of hydrogen in Ni-silicide with Iodine Catalyst Deposited Ni Film by using Atomic Layer Deposition

강희성, 하종봉, 김기원, 김동석, 임기식, 김성남, 이광만, 이정희

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.234

Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배, 강희성, 하종봉, 양충모, 이정희

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.226

Formation of Nickel Silicide from Atomic Layer Deposited Ni film with Ti Capping layer

윤상원, 이우영, 양충모, 나경일, 조현익, 하종봉, 서화일, 이정희

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2007 pp.193-198

Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과

윤상원, 이우영, 양충모, 하종봉, 나경일, 조현익, 남기홍, 서화일, 이정희

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.19-23

게이트와 드리프트 영역 오버랩 길이에 따른 LDMOST 전력 소자의 전기적 특성

하종봉, 나기열, 조경록, 김영석

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.7 2005 pp.667-674

STS 316L의 열화 현상에 따른 미세조직 및 기계적 특성 변화

하종봉, 김형태, 신현식, 서창제

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1999 p.126

원자료용 구조용강의 용접재료 및 보호가스 변화에 따른 열화 현상

김형태, 하종봉, 신현식, 서창제

[Kisti 연계] 대한용접접합학회 대한용접접합학회 학술대회논문집 1999 pp.81-83

원자로용 구조용강의 열화 현상에 따른 용접부의 특성 및 부식성 평가

하종봉, 김형태, 신현식, 서창제

[Kisti 연계] 대한용접접합학회 대한용접접합학회 학술대회논문집 1999 pp.88-90