W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.3 2009 pp.203-207
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Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.2 2009 pp.97-101
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스테레오비전시스템을 이용한 실내 영상감시시스템의 외란광 간섭 경감에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국조명전기설비학회 조명·전기설비학회 논문지 Vol.23 No.9 2009 pp.83-90
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Nanotribology를 이용한 PMMA 박막의 Hardness와 Elastic Modulus 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.5 2009 pp.372-376
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플라즈마 약액 활성화 방법을 이용한 Photoresist strip 가속화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.2 2008 pp.113-116
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RF Magnetron Sputtering 방식으로 증착된 W-C-N 확산방지막의 열적 안정성 분석
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2008 pp.156-157
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W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.2 2008 pp.109-112
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Surface Hardness Change of HDI-PR Used by PLVA Method for Next Generation Devices
[Kisti 연계] 한국자기학회 한국자기학회 학술대회논문집 2008 p.183
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Boron 불순물에 의한 W-B-C-N 확산방지막의 특성 및 열적 안정성 연구
[Kisti 연계] 한국자기학회 한국자기학회지 Vol.18 No.1 2008 pp.32-35
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불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.6 2008 pp.518-522
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PLVA 방법을 활용한 PR Stripper의 성능 향상과 HDI-PR 표면의 내력 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.6 2008 pp.544-548
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Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.5 2007 pp.348-352
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[Kisti 연계] 한국조명전기설비학회 조명·전기설비학회 논문지 Vol.21 No.8 2007 pp.87-95
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Tungsten(W)- Boron(B) - Carbon(C) - Nitride(N) 확산방지막의 Boron 불순물에 의한 열확산 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.87-88
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W-B-C-N 확산방지막의 질소 불순물의 영향과 박막의 두께에 따른 열확산 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.173-174
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Measurement of Distance and Velocity of Moving Objects using Single Camera Pseudo-Stereo Images
[Kisti 연계] 한국조명전기설비학회 조명·전기설비학회 논문지 Vol.21 No.9 2007 pp.32-38
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[Kisti 연계] 한국건축역사학회 건축역사연구 Vol.16 No.4 2007 pp.23-36
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Top형 스핀밸브 구조의 Si 기판에서의 하지층 두께에 따른 자기저항 특성 연구
[Kisti 연계] 한국자기학회 한국자기학회지 Vol.17 No.2 2007 pp.95-98
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