[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.17-18
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$BCl_3$/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템을 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2007 pp.1319-1320
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유도결합 플라즈마를 이용한 $Na_{0.5}K_{0.5}NbO_2$ 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 p.116
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차세대 소자를 위한 MgO thin films 의 식각 특성
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.1380-1381
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PST (20/80)/ PST(80/20) 이종층 박막의 유전특성
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.115-116
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사중극자 질량 분석기를 이용한 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마 특성 진단
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.55 No.4 2006 pp.204-208
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$BCl_3/Ar$ 유도 결합 플라즈마 시스템해서 이온 에너지 분포에 따른$HfO_2$ 박막 식각
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.117-118
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촉매화학기상증착법에 의한 단일벽 탄소나노튜브의 합성과 미세구조
[Kisti 연계] 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 Vol.55 No.7 2006 pp.359-363
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유도결합 플라즈마를 이용한 $(Bi_{4-x}La_x)Ti_{3}O_{12}$ 박막의 식각 손상
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.1374-1375
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고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.1376-1377
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촉매제어를 통한 촉매화학기상증착법으로 성장시킨 탄소나노튜브의 특성분석
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.1378-1379
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고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2006 pp.1382-1383
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Cl-based 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 p.91
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.162-163
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$BCl_3/Ar$ 고밀도 플라즈마를 이용한 ZnS:Mn 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.124-125
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.122-123
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$BCl_3/Ar$ 식각 플라즈마에서의 이온 에너지 분포
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2005 pp.54-56
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Inductively Coupled $Ar/Cl_2$ Plasma Analysis with Quadrupole Mass Spectrometer (QMS)
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2005 pp.41-43
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유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성 및 이온 에너지 분포
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.98-100
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유도결합플라즈마를 이용한 BST 박막의 건식 식각 특성
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.187-190
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