간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
2011년도 제40회 동계학술대회 초록집 (463건)
Conducting Metal Oxide Interdigitated Electrodes for Semiconducting Metal Oxide Gas Sensors
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.65
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Highly Ordered TiO2 nanotubes on pattered Si substrate for sensor applications
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.66
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Pulsed DC $BCl_3/SF_6$ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 선택적 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.67
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Mechanism Study of Flowable Oxide Process for Sur-100nm Shallow Trench Isolation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.68
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ZnO 나노입자를 포함한 고분자 나노 복합 소재를 사용하여 제작한 WORM 메모리 소자 안정성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.71
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Structural Evolution of ZnO:Ga Thin Film on Profiled Substrate Grown by Radio Frequency Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.72
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ZnO-SnO2 co-sputtering 박막의 전기적, 광학적 특성 고찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.73
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펄스 레이저 증착 방법으로 성장한 InGaZnO4 박막의 물리적 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.74
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Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of MgO Thin Films Using a $CH_4$/Ar Plasma
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.77
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수열합성법으로 성장된 ZnO 박막의 열처리에 따른 특성 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.78
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열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.79
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Polyethersulfone 기판 위에 증착된 GaZnO 투명전도성 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.80
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Sol-Gel 법으로 증착된 ZnO 박막의 냉각속도에 따른 특성 변화 및 후열처리 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.81
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이온빔 스퍼터를 이용한 산화물박막 제조 및 구조적특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.82
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플라즈마 분자선 에피택시에 의해 성장 멈춤법으로 증착된 완충층에 성장된 ZnO 박막의 특성 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.83
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산소 유량에 따라 스퍼터된 ZnO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.84
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RF Magnetron Co-sputtering법으로 형성된 GZO & IGZO 박막의 불순물 농도에 따른 광학적 전기적 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.85
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RF파워 변화에 따라 스퍼터된 GZO 박막의 전기적, 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.86
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Electrical and Optical Properties of P-type Amorphous Oxide Semiconductor Mg:$ZnCo_2O_4$ Thin-Film
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.87
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Au Deposition on Amorphous Ga-In-Zn-O (Gallium-Indium-Zinc-Oxide) Film
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.89
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Thermal Treated Al-doped Zinc Oxide (AZO) Film-embedding UV Sensors
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.90
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박막태양전지 TCO/P 버퍼층 활성화를 위한 P-layer 최적화 Simulation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.91
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Study on IZTO and ITO Films Deposited on PI Substrate by Pulsed DC Magnetron Sputtering System
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.93
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자장의 분포를 제어한 스퍼터링 증착 시 상온에서의 ITO 박막 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.94
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