간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집 (99건)
Experimental Techniques for Surface Science with Synchrotron Radiation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.17
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Physical ppropperties in Rare-earth Compounds
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.18
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Nano scale characterizations of semiconductor materials and devices with SPM
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.19
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Sputtering of Solid Surfaces at Ion Bombardment
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.20
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High resolution 5" full color field emission displays with new aging technique
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.23
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Ion Beam Assisted Deposition System의 제작 및 자동화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.27
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Outagassing rate of TiN and BN thin film coating on stainless steel
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.28-29
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Glass Packaging of the Field Emission Array and Vacuum Evaluation within the FED Panel
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.32-33
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유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 중착특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.34-35
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Ion Beam Assisted Deposition 법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.36-37
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PE-MOCVD로 증착된 Hf(C,N) 박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.39-40
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Epitaxial growth of Pt Thin Film on Basal-Plane Sapphire Using RF Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.41
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Tribology of Si incorporated Diamond-like Carbon Films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.44
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다이아몬드상 카본필름의 탄성률(E)과 포아송비(V)의 독립적 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.47-48
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이온빔 보조 증착에 의한 Calcium phospphate 성장에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.49-50
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Reactive Sputtered $WN_x$ Metallization for Self-Aligned Gate GaAs MESFETs
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.56-57
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GaAs 자연 산화막의 전기적 특성에 미치는 열처리 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.58-59
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UHV-ECRCVD에 의한 SiGe/Si 이종접합 다이오드
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.60-61
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이온빔 스퍼터링으로 제작된 다이아몬드상 카본 필름의 전계방출 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.62
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PECVD로 성장된 a-$Si_(1-X)C_x$:H 박막의 광학적 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.63-64
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전자빔 리소그라피를 이용한 실리콘 산화막의 직접 패터닝
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 p.70
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Ultrathin Gate Oxide for ULSIMOS Device Applications
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.71-72
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