간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
2002년도 제23회 학술발표회 초록집 (160건)
Recent Developments in TOF-SIMS Application to Life Science and Nanotechnology
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.29
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Experimental Study of an rf antenna immersed in a helicon plasma
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.30-31
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Photocatalytic Water Splitting over Layered Perovskite Compounds
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.35
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Photocatalytic Behaviors of $TiO_{2}$ Thin Films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.36
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광촉매가 코팅된 플라스틱 광섬유를 활용한 기상오염물 제거
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.40
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(Ti$O_{2}$상의 Pt 나노입자가 표면 광화학반응에 미치는 영향과 환경응용)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.41
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Cuurrent Topics in Nano-Photonics
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.42
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Real-time, in situ monitoring of 5-fold InAs/InP quantum dot stacks by spectral reflectance
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.45
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Deposition and Characterization of Er-doped Si Thin Films Fabricated by Laser Ablation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.51
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Electric-Field-Induced Amorphization of Silicon Films Grown from High Hydrogen Dilution of Silane.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.52
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W/Si 조성 변화에 따른 WSix film의 XRR/XRF 두께 측정 결과 비교
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.53
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Nickel silicide 형성시 열처리 온도에 따른 열적 안정성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.54-55
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X-ray scattering study of copper-filling profile in submicron trenches
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.56
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Decaborane 이온 주입법에 의한 ultra-shallow p+/n junction의 전기적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.57
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Application of positrons to surface defects on 6H-SiC
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.59
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유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.60
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증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.61
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열주기에 따른 SiGe BiCMOS 소자의 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.62
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수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.63-64
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AlGaN/GaN 구조에서 형성되는 polarity 조절에 관한연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.66
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LPE법으로 성장한 GaMnAs epilayer의 자기적 특성 조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.67
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PLD법에 의해 Si 기판위에 에피성장된 PZT박막의 구조 및 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.68
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