간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
2004년도 제27회 학술발표회 초록집 (187건)
XPS Depth profiling of Ultra Thin Oxynitride Film
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.122
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Preparation of $HfO_2$ thin films by MOCVD using the novel single precursor, $Hf(mp)_4$
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.125
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Properties Comparision of $TiO_2$ and TiO-N made by Reactive Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.126
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Energy level tuning of InAs quantum dots by coherent strain layers
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.128
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Investigation of thermal stability of strained Si on relaxed SiGe layer
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.129
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이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO/Si(111) 박막의 결정성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.131
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InP(001) 기판 위에 성장한 InAs 다층 양자점의 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.133
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선택적으로 Au가 증착된 AlGaAs/GaAs 양자우물의 광학적 특성에서 rapid thermal annealing의 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.134
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Cluster tool system을 이용한 비정질/나노결정 실리콘 하이브리드 박막 태양전지 동작특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.135
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MIM Capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 $ALD-Al_{2}O_3$ 박막 증착과 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.137
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Preparation of NiSi thin films by MOCVD using the novel $Ni(dmamp)_2$ precursor
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.138
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RF-magnetron sputtering 방법으로 형성된 $RuO_2$ 박막의 전기적 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.139
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원자층 증착기구(ALD)를 이용한 Zirconia/Titania 다층 박막의 Gate Oxide용 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.140
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The Effects of Ta on the Formation of Ni Silicide in Ni-Ta/Si Alloy System
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.141
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Deep Level Transient Spectroscopy법에 의한 InGaN/GaN 양자점의 에너지준위 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 pp.144-145
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Poly(3-hexylthiophene) organic thin film transistor on polyimide using electroplated gold electrodes
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.146
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ALD growth of $HfO_2$ thin films using Hf(mp)$_4$ and water
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.147
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Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 기술을 이용한 $Al_{2}O_{3}$와 $ZrO_2$ 박막의 증착 및 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.151
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Selective adsorption of vanadium pentoxide nanowires on the patterned self-assembled monolayers
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.152
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Residual stress jumping with W concentration in the WC-C nanocomposite films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.154
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Filtered vacuum arc 공정에 있어서 아르곤 가스에 의한 tetrahedral amorphous carbon 박막의 구조 조절
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.155
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Diamond-like Carbon 박막의 압축잔류응력에 대한 습도의존성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.156
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