간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집 (138건)
Monte Carlo stduy on the melting process of small metal clusters
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.163
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Cluster Beam 과 고체표면과의 상호작용에 관한 Molecular Dynamics Simulation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.164
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Surface Reactions of Gas-Phase Hydrogen Atom with Adsorbed Sppecies
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.165
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Surface modification of ppolyimide by ion assisted reaction in oxygen environments
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.168
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RHEED를 이용한 In/Si(111) 표면에서의 구조변화 및 탈착에너지 조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.174-175
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Expperimental Respponse Function of Photoelectron Spectrometer
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.176-177
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SURFACE STUDIES OF PLASMA SOURCE ION-IMPLANTED POLYSTYRENES
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.180
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Mg/Si(113) 계의 재구조에 대한 RHEED 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.182-183
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PROPERTIES OF ION BEAM MIXED Co/Pt MULTILAYERED FILMS AND Co-Pt ALLOY FILMS
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.184-185
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진보된 컨택 식각을 위한 자화 유도 결합 고밀도 플라즈마
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.191
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Sub-Torr 압력의 중성기체속을 전파하는 상대론적 전자빔의 수송효율 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.192
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Anisotropic Poly-Silicon Etch With $Cl_2/CH_3Br$
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.195
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Hillock Prevention of Al Thin Film on Glass Substrate Using Plasma Source Ion Implantation Technique
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.196
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찬음극 전기장 방출 전자빔을 위한 초미세 바늘 전극의 제작및 빔 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.197-198
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Quadruppole Mass Filter를 이용한 Radical ion beam 추출
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.199-200
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Time-dependent Study of Mirror Discharge in the Hanbit Device
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.201-202
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RFI ionized magnetron spputtering을 이용한 Al, Cu, Ag 박막의 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.203
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플라즈마 집속장치로부터 생성된 펄스플라즈마의 에너지, 밀도 및 $T\bot$ 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.204
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Effect of a Gyrating electron Beam on $TE_{011}$ Cylindrical Cavity in Gyrotron.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.205
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Inductively Couppled Plasma를 이용한 $Ba_{1-x}Sr_xTiO_3$ 박막이 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.207-208
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Characteristics of Cold Hollow Cathode Ion-Beam source for Oxygen gas
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.210
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Filtered Vacuum Arc 코팅 장치의 개발 및 특성조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.211-212
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