간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
1992년도 제3회 학술발표회 논문개요집 (56건)
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.66-67
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TiN 박막제조를 위한 ppECVD 공정의 해석적 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.68
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
LPCVD 조건하에서 SiH4 의한 WF6 환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.71-73
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건식식각시 플라즈마의 작용으로 인해 챔버 구성물질로부터 오염된 알루미늄의 제거
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.74
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건식 식각에 의한 실리콘 표면층의 변형과 회복에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.75-76
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ECR 플라즈마를 이용한 액체질소온도에서의 ppoly-Si 및 Si 식각 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.79-80
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Calculations of Molecular Beam Flux in the MBE System
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.84-85
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Study of Annealed Ti/SiO2 Interface Reaction Using XppS
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.89-90
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Dense Kondo Effect 가 광학적 성질에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.91
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Expperimentally determined ppartial Density of States in disordered Au-ppd Alloys
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.93
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K/Si(111계)의 표면격자구조에 대한 XppD 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.95
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Imppact Collision Ion Scattering Sppectroscoppy system 제작 및 그 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.96-97
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An Auger Electron Sppectroscoppic Analysis of Surface Segreation in Titanium
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.101-102
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Ge/Si(111) 면에서 중간금속이 Si-Ge Eppitaxial 성장에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.105
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Sputtering of Clean and K-Covered Ni-Surfaces by Low Energy (<500eV) Noble Gas Ions
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 p.106
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Combination ppumpp (NEG + SIpp) 에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.107-108
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Chemical Cleaning of the ppLS Storage Ring Vacuum Chamber
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.111-112
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Test Results of a pproto-Typpe Sector Chamber of the ppLS Storage Ring
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1992 pp.113-114
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