Interface characterization and current conduction in low-k SiOC(-H) thin films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.155
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Evaluation of ultra low dielectric constant SiOC(-H) thin films for advanced interconnects
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.277
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Electric field induced second harmonic generation in SiOC(-H) thin films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.154
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Low-k thin film interface studies by using second harmonic generation
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.158
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Electrical properties of u/TaN/SiOC(-H)/p-Si(100) low-k dielectric stack
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.156
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Plasma parameters of the low dielectric constant SiOC(-H) thin films during the PECVD process
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.349
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Chemical Bonding Structures of Low-k SiOCH films with HMDSO and $O_2$ precursors deposited by PECVD
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.123
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A Study for Properties of SiOC(-H) Thin Films with $Low-{\kappa}$ Formed by UV-Assisted PECVD Method
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.245
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Electrical properties of Al/SiOCH/p-Si(100) structure with $HMDSO/O_2$ precursors deposited by PECVD
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.109
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Fabrication and characterization of ZnO based thin film transistors
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.250
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Nanoindentation studies of epitaxial ZnO thin films on (0001) sapphire substrates
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.89
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